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日本富士多成分濃度計(jì)

簡(jiǎn)要描述:日本富士多成分濃度計(jì)FUD-1 Model-53的產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
保養(yǎng)性和高精度內(nèi)線測(cè)量等FUD-1 Model-53的好處就那樣,作為半導(dǎo)體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長(zhǎng)的模型。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-03-22
  • 訪  問(wèn)  量:2559

詳細(xì)介紹

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  日本富士多成分濃度計(jì)FUD-1 Model-53的產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
 
  保養(yǎng)性和高精度內(nèi)線測(cè)量等FUD-1 Model-53的好處就那樣,作為半導(dǎo)體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長(zhǎng)的模型。
 
  內(nèi)置FUD-1 Model-53導(dǎo)電率計(jì)
 
多成分濃度計(jì)(専用)
  日本富士多成分濃度計(jì)的特點(diǎn)
 
  實(shí)時(shí)3成分中的2成分濃度計(jì)側(cè)可能
 
  標(biāo)準(zhǔn)配備模擬DC4~20mA(2系統(tǒng))及數(shù)字RS232C
 
  標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量錯(cuò)誤輸出和警報(bào)輸出
 
  標(biāo)準(zhǔn)裝備自己診斷功能·錯(cuò)誤信息表示
 
  小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能
 
  采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計(jì)對(duì)藥液沒(méi)有影響

 
  優(yōu)點(diǎn):
 
  高精度連續(xù)計(jì)測(cè)可能
 
  無(wú)需定期調(diào)整、校對(duì),無(wú)需維護(hù)
 
  設(shè)置時(shí)的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置
 
  由于實(shí)時(shí)輸出的工程的反饋也容易

 
  用途:
 
  CMP工序CMPー及氧化劑濃度管理等
 
  清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理等(HF+HNO3?HF+H2SiF6等)
 
  蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(TMAH+注冊(cè)?TMAH+Si等)

 
  規(guī)格:
 
  型式FUD-1 Model-53
 
  轉(zhuǎn)換器
 
  測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度、溫度、導(dǎo)電率
 
  顯示:LCD(濃度1?濃度2?溫度?音速?導(dǎo)電率/各種參數(shù))
 
  輸出信號(hào)模擬DC4~20mA:2系統(tǒng)(可對(duì)濃度值自由設(shè)定)
 
  數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、音速、溫度、導(dǎo)電率、錯(cuò)誤代碼)
 
  警報(bào)上下限測(cè)量異常:2系統(tǒng)
 
  電源AC100V~240V 50/60Hz兩用30VA (DC24V也可使用)
 
  結(jié)構(gòu):面板掛載型(根據(jù)DIN標(biāo)準(zhǔn))
 
  環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器0~50℃
 
  RH85%以下(未結(jié)露)
 
  功能輸出范圍設(shè)定功能、警報(bào)輸出設(shè)定功能、濃度顯示移動(dòng)平均功能、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、安全功能、異常值取消功能、溫度時(shí)常數(shù)修正
 
  選項(xiàng)溫度輸出(DC4~20mA)
 
  RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
 
  通道(檢量線)大7ch
 
  適配發(fā)信器例子SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)、SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)
 
  形式發(fā)信器
 
  SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)
 
  SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)
 
  振動(dòng)元件PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2
 
  測(cè)量元件熱敏電阻
 
  測(cè)量液溫度0~100℃0~80℃
 
  構(gòu)造流體
 
  接液部材PFA/PFA涂層PFA
 
  接縫3/4英尺(可更改)3/4英尺(可更改)
 
  耐壓0.3MPa 0.3MPa
 
  流量5l/min(推薦)5l/min(推薦)
 
  重量2.5kg 2.5kg
 
  電纜電纜6m電纜6m
 
  環(huán)境溫度5~45℃5~45℃
 
 

 

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